目前世界上最薄的鳍式晶体管是中国制造,这标志着我国在芯片科技的研发上实现了又一项突破。而它到底有多薄呢?沟道宽度只有0.6纳米,相当于三个原子的厚度。更牛的是,这项成果属于一位85后科学家韩拯博士,他担任着山西大学光电研究所的教授一职,同时还是中国科学院金属研究所的研究员。在2020年年底,他带领金属研究所的成员与湖南大学合作,最终成功制备出了世界上最薄的鳍式场效应晶体管。
鳍式场效应晶体管和沟道宽度这两个专业名词,你听着是不是有点懵?首先,我们需要知道晶体管是什么存在。它是芯片中的基本元件,打个比方来说,我们可以把晶体管看成一段水路,通过的电流就是水流。而它在左中右三个位置分别有源极、漏极和栅极。这就好像水路的左端是水源,右端是可以抽水的水泵,中间有一个可以自由开合的水闸。当栅极也就是水闸关闭的时候,水路中没有水流。而当水闸不断升起,底部达到水槽之上时,水流会进入水路,水闸越高,水流越大。也就是说栅极的电压越高,晶体管的电流越大。
那鳍式场效应晶体管又和传统晶体管有什么不同?它由加州大学伯克利分校的胡正明教授在1999年研发而成。传统晶体管的源极和漏极是平面状态,而它的半导体沟道是竖起来排列的,就好像一片片鱼鳍。源极、漏极、栅极以及栅极介电层,都覆盖在鱼鳍沟道上,这也是它名字中“鳍式”的由来。
相较于传统晶体管的平面形态,鳍式的设计克服了短沟道效应,栅极的长度也就是栅长极大地缩短了,集成度增加,电路控制情况获得了很大的改善。因此,鳍式场效应晶体管被广泛使用,最终全面取代了传统晶体管。那沟道宽度又是个啥?像一片片鱼鳍一样竖起来的半导体阵列,这个东西的厚度,也就是沟道宽度。
做完了名词解释,我想大家一定很好奇,世界上最薄的鳍式晶体管是如何诞生的?
韩拯带领团队采用全新的材料替代了原本的沟道材料,这是一种单层二维原子晶体半导体。在呈台阶状的高度为数百纳米的模板牺牲层上,团队使用了自下而上的湿法化学沉积方式,让该半导体不断保形生长。最终该材料的宽度缩小到了单原子层极限的尺度,也就是0.6纳米。在此基础上,团队还结合了多重刻蚀等微纳加工工艺,使单原子层鳍片阵列的最小间距也仅有50纳米。这一成果可以说是几乎接近了物理极限。
而采用主流硅基半导体工艺的鳍式晶体管,其沟道宽度最小也有3到5纳米,0.6纳米还不到这个数据的零头。越薄的晶体管,就能为芯片节省出更多的储存空间,这有益于芯片缩减尺寸,从而提升性能。
韩拯团队的研究,为我国芯片事业的发展做出了重大的贡献。如今,世界科技已经迈入了后摩尔时代,我国也丝毫不落后。韩拯这样的人才不会少,未来在纳米领域,我们还会看见更多突破性的成果。