佳能EOS M传感器尺寸为22.3×14.9mm，搭载了1800万有效像素的APS-C规格CMOS图像感应器。
佳能EOS M采用3英寸104万像素的触控屏幕，背面液晶监视器采用了触控面板，可通过触摸操作进行多项设置，并在拍摄过程中进行功能选择和快门释放。机身尺寸为108.6×66.5×32.3mm，重量约为262g。
佳能EOS M搭配DIGIC V图像处理引擎，拥有1920x1080(24、25或30fps)的录像规格，而在锁定对焦/曝光下，佳能EOS M也能达到每秒4.3张的连拍能力。
佳能EOS M除专用的小型轻量EF-M镜头外，还能通过卡口适配器EF-EOS M转接全部EF镜头，自动对焦结构搭载了Hybrid CMOS AF和触控面板以获得更高的操作性，支持1080p全高清短片拍摄，通过内置立体声麦克风进行收音。
佳能EOS M搭载了7种创意滤镜，加上手持夜景、HDR逆光控制等拍摄模式，可帮助用户拍摄出独特而高品质的照片。
